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随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12以上的高真空范围。
真空区域的划分
粗真空 105 ～103 Pa
低真空 103 ～10-1 Pa
高真空 10-1 ～10-6 Pa
超高真空 10-6 ～10-10 Pa
极高真空 ＜10 -10Pa
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。那么真空滤油机使用哪种真空泵？真空滤油机一般用到的就是气体传输泵中的旋片式真空泵，通常在过滤常规润滑油、液压油、透平油等油品时滤油机设备上只用到一台旋片式真空泵，而过滤高压的变压器油时就需要在设备上用到前级旋片真空泵+后级罗茨真空泵相组合的形式，这样是为了保证其油品脱水、脱气的好。
旋片式真空泵是应用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以取得真空的一种变容机械真空泵。当采用任务液来停止光滑并填充泵腔死隙，分隔排气阀和大气时，即为通常所称的油封旋片真空泵。它有公平地装在定子腔内的转子及转子槽内的两个或数个旋片，转子与泵壳内外表或相切或相交，转子带动旋片旋转时，旋片借向心力（有的还有弹簧力）紧贴缸壁，把进排气口联系开来，并使进气腔容器周期性扩展而吸气，排气腔容积则周期性地减少而紧缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而取得真空。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，普通大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由初级排入低级，然后再排出泵外。
由于泵是应用吸气容积的变化来抽吸气体的，其名义抽速可按吸气的几何容积来设计计算。 该泵不仅容易获得2.5～7.0 MPa的压力，而且各密封容腔在旋转的每一瞬间所排出的油液是基本相同的，所以供油脉冲较小，排量和压力较均匀。旋片式真空泵的结构有许多种，常的是中低压定量单级双作用泵，旋片式真空泵型即属此种。
